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净化车间静电的预防和处理方案

发布时间:2020-10-22 浏览:次
  静电是净化车间最难控制的因素之一,它会增加半导体器件生产中的废品,降低电子设备的可靠性。因此,在半导体器件的生产中,有必要在所有制造阶段防止静电作用在器件上。
  
  消除静电的方法有很多,有防静电环境要求的净化车间项目一般采用以下方法:
  

  一、选择合适的材料

  
  净化车间装修应使用不易产生静电或产生静电后能迅速泄漏的材料。当多种材料一起使用时,应选择电气顺序表中位置相近的材料。所有材料都可以分为电导体或电绝缘体。导体是电流可以通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。

净化车间静电的预防和处理方案
  

  二、接地

  
  接地是消除带电导体静电最常见、最经济、最简单、最可靠的方法。
  
  1、净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉末管道应采取防静电接地措施。
  
  2、电子行业洁净室的围护结构(天花板、地板、墙壁、立柱)应进行防静电装饰,抑制灰尘的带电吸附。
  
  3、工艺设备接地。
  
  4、办公设备应由抗静电材料制成并接地。
  
  5、工人应穿防静电无尘衣服、鞋、帽、手套、腕带等。
  

  三、中和

  
  带电体周围的空气电离后(静电),带电离子在电磁场作用下迁移,带电体吸引相反的电荷,中和消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置。静电消除器产生的电子和离子中和带电体上的相反电荷,从而消除静电。绝缘材料和空气表面的静电荷必须通过静电中和来消除。
  

  四、湿度控制

  
  在许多消除静电的方法中,室内湿度控制也可以用来减少和消除净化车间的静电。通过保持环境中的高相对湿度,在该区域的物体表面将形成一层薄的湿气层,并且该薄层将用于提供导电通道,使得可能的电荷可以流过湿气层以消散静电荷。此外,薄的水分层可以增加物体表面的润滑性,摩擦电也会降低。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。然而,数据显示,即使当湿度高时,也会产生显著的静电电压。但是,在高湿度环境下,生产人员可能会感到非常不舒服,零件可能会生锈,导致焊接性问题。同时,试图通过湿度控制来消除静电显然是昂贵的,尤其是在干燥地区。

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